第280章 检验 （上）

三人才被允许进入到实验车间。

    港基集电的生產车间普遍选择米色基调，连设备的涂装都是米色色系，只不过和周围环境深浅不同而已。

    两个丫头对梁远搞出来的东西极度的好奇，小心翼翼的跟在梁远身后，眼神灵动的看来看去。

    由於实验的缘故，车间裡成群的物料小车都已经停掉，只剩下一台看起来孤零零的白色光刻机停在车间的一侧。

    “小远，这次我们能不能看到晶片是怎麼生產出来”

    由於採用全密封服装的缘故，梁远头套耳机裡的声音有些失真，也分不出来究竟是哪个丫头在说话。

    “光刻机的生產原理和照相类似属於短暂曝光啊，被人类看见了就是曝光过度还怎麼生產晶片”

    梁远笑著回了一句。

    问话的寧婉嘉有点不好意思的吐了吐小舌，不过因为防尘头套的缘故也没人看见。

    “大少，都準备好了，是不是开始实验”

    梁远吃饭和消毒的这段功夫，王欣等人已经把轻水灌进了工作台上的容器，晶圆也涂好了光刻胶放进了轻水之中。

    目前港基集电所使用的光刻胶，虽然没针对防水这个属性进行过优化设计，不过光刻胶从原料属性上属於树脂的一种本身就具备一定的防水特性。

    光刻之后的显影工序本身就需要用纯水冲洗显影液，因此只要不选用遇水溶解的光分解型光刻胶，短暂的实验性生產光刻胶应该不影响晶片的最终成品，当然，这些都是技术大佬三人组理论上的预想，最终如何还需要实际行动来验证。

    “好，开始吧。”

    “大少你来按啟动按钮吧。”

    “不用了，不用了，谁离得近谁按，要不是有点心急，我都不来这裡凑热闹了。”

    最终，站在光刻机旁边的聂晓天按下了设备的工作健。

    港基集电目前的光刻机大概能有七八立方米大小，设备近似於一个超大的黑箱，晶片曝光时的过程肉眼根本看不见，设备工作更没什麼声响，虽然晶片和航天都是人类的尖端科技，但论起视觉效果这两者简直天差地别。

    由於不需要把整个晶圆的面积全部生產利用上，光刻机曝光了十次就停止了工作，在电机的推动下工作台缓缓的从光刻机中退出，开始把晶圆向后续工艺推送。

    曝光之后是显影，显影之后是坚膜，再之后工艺进入了检测程序，这步工艺是对晶圆的显影结果进行检测，合格的晶圆进入后续的刻蚀等流程，不合格的晶圆在清洗后进入最初流程重新来过。

    不过对於实验室中的眾人来说，检测这一步几乎就足够判定新方法的生死了，在电子显微镜下成与不成一目瞭然。

    梁远是啥都不懂，只能看著王欣坐在检测设备前通过电子显微镜观察著刚刚出炉不久的晶圆。